功能薄膜特性测试仪 型号：ZH9392
产品简介 本测试仪是多用途综合测量装置，开展半导体材料的电阻性能的测试。由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成。四探针测试仪由主机、测试架等部分组成，测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度 恒流源组成。非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。 测量范围： 电阻范围：1×106～1×1017Ω； 电 阻 率：0.001～200Ωcm 电 导 率：0.005～1000s/cm 可测晶片直径： 200mmX200mm 探    针：碳化钨或高速钢 探针间距：1±0.01mm 针间缘电阻：≥1000MΩ 机械游移率：≤0.3% 本底真空度：≤10Pa 气压可控范围：10～400Pa 衬底加热 温度：室温～200℃