四探针电阻率测试仪是按ASTM F84硅片电阻率测量的要求，用于对硅材料电阻率的测量。 规格参数： 双数字表：一个数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一个数字表监测过程中的电流变化。 电压量程：0-199.9mV 基本误差：±(0.4-0.5%读数+0.1%) 灵敏度：100μV 输入阻抗：1000ΜΩ 电阻率范围：10-³~1.9×10³Ω·cm 方块电阻范围：10-² ~1.9×10^4Ω/□ 具有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表指示2、3探针间的电压（即电阻率）值。 测量精度：＜3% 电流量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五档 采用触点电阻＜5mΩ的转换开头及继电器（＞10%） 四探针电阻率测试仪
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