货号：ZH9912
产品简介
电子薄膜应力分布测试仪主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多，能给出场面型分布结果，适合于微电子生产线上产量的快速检验和微电子生产工艺研究。
电子薄膜应力分布测试仪基于干涉计量的场测试原理，可实时观测面型的分布，迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置，及时淘汰早期失效产品。
电子薄膜应力分布测试仪特点
计算机自动条纹处理
测试过程自动
曲面补偿测试原理
技术指标
样品尺寸：≤100mm (4英寸)
曲率范围：|R|≥5米
测试精度：5%
单片测量时间：3分钟/片
结果类型：面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能：三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电 源：AC 220V±10%, 50Hz±5%
大功耗：100W
外型尺寸：(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重 量：36kg
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